【简答题】
P200、P201、P202有哪些工艺控制参数?哪些是串级
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R200主要控制参数:FIC20201,PIC20201,JI20201,TIC20201,FIC20004,TIC20202。
R201主要控制参数:FIC20003,FIC20401,JI20401,DIC20401,TIC20401,TIC20402。
R202主要控制参数:FIC20301,FIC20501,JI20501,DIC20501,TIC20501,TIC20502。
串级有:TIC20201与TIC20202,TIC20401与TIC20402,TIC20501与TIC20502,DIC20401与FIC20003,DIC20501与FIC20301。
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